中科飞测陈鲁：质控对芯片良品率至关重要国产设备将与国际龙头展开全面竞争

  “目前国内半导体检测和量测设备国产化率不到10%，仍有很大的市场成长空间。”中科飞测董事长、总经理陈鲁日前做客《沪市汇·硬科硬客》第十期节目“半导体设备突围关键局”时表示，中科飞测布局的高端半导体质量控制领域是贯穿集成电路制造的关键环节，对芯片生产良品率的影响至关重要。

  陈鲁指出，检测和量测设备领域一直是核心设备中比较薄弱的环节，半导体产业链的国产化趋势将极大提升国内产业链的整体实力，对原本薄弱环节的作用更是能看到大的飞跃。

  “在核心技术上持续研发突破，在产品迭代升级上快速推进，在客户服务上全方面覆盖，在品牌口碑上快速提升，全面紧跟国内客户的工艺发展需求。”面对产业机会，陈鲁表示中科飞测将全面把握，努力实现赶超。

  “未来在国际市场中，国产设备将能够与国际有突出贡献的公司全面竞争，随着海外市场的开拓，国产设备的能力和口碑将有更大的提升。”陈鲁强调。

  根据SEMI（国际半导体产业协会）统计，2023年中国大陆半导体设备销售额为366亿美元，连续第四年成为全世界最大半导体设备市场。

  近年来，得益于中国半导体全行业的蓬勃发展和国家近年来对半导体产业持续的政策扶持，行业下游晶圆厂在关键工艺节点上持续推进，多家国内领先的半导体制造企业进入产能扩张期，中国大陆半导体检测与量测设备的市场处于快速地发展期。

  根据VLSI数据统计，2019年至2022年中国大陆半导体检测与量测设备市场规模的年均复合增长率为33.5%，预计2023年将进一步增长。

  “中科飞测由中国科学院微电子研究所孵化而来，刚成立时，我们的净化间实验室就在微电子所里面。当时没有场地，就在隔一条街租了一个200平方米的住宅，家具拆掉放上办公桌。”陈鲁表示初创企业异常艰辛。

  据陈鲁介绍，中科飞测一步步吸收光学、机械、软件算法等各专业人才，不断扩充队伍规模，技术均为自主研发的成果。在成立初期和上市前，得到了许多头部产业基金的投资，这为该公司带来了前期所需的资金和产业资源的支持。

  科创板的推出加快了中科飞测的上市进程。大基金二期作为战略配售投资者参与认购中科飞测5.3%的IPO股份，2023年5月，中科飞测在科创板上市。

  “在业务增长最快速、需要增量、对资金需求最强时，中科飞测在科创板上市，科创板让公司有了充足的资金支持批量生产，大范围扩张客户。”陈鲁肯定了科创板对公司业务的积极作用。

  “除了资金支持之外，我们最需要的是产业机会，客户给予机会。有优秀的人才，并且要有‘工匠精神’，所有的设备追求细节才能做好，正所谓‘慢工出细活’。”陈鲁如是表示。

  提及近年来取得的成就，陈鲁介绍，中科飞测已布局形成9大系列设备和3大系列智能软件的产品组合，是国内顶级规模、研发实力最强、设备种类最多的半导体量检测设备企业，设备的各项性能指标都能够对标海外垄断企业，在国内市场与海外垄断企业形成全面竞争。

  “重点研发专项、科创板上市、人才引进、财政补贴、税收优惠等政策为产业提供了技术、人才和资金支持，使得近年来产业和公司得以加快速度进行发展。”陈鲁期待出台更多聚焦设备产业链的政策，推动链式发展，加强设备跟零部件的协同发展，例如加强产业集聚和园区建设等。

  尽管中国连续四年成为全世界最大的半导体设备市场，但目前国内市场主要被海外企业所占据，全球市场也仍处于外企寡头垄断局面。

  陈鲁表示，在量检测设备行业，海外的垄断型设备企业占据了全球50%以上的市场，与之相比，国产厂商在历史、规模和品牌知名度等方面均存在劣势。

  “我们已有的一些研发设备，在不到十年的时间就能够走过国外设备厂商几十年走完的研发道路。我们从售前、研发，到批量生产，到售后，整一个完整的过程形成一个闭环，并且快速迭代。”陈鲁表示，中科飞测在以更短的时间、更快的速度追赶国外发展的进程。

  陈鲁分享了中科飞测的赶超路径——紧跟国内客户的关键工艺技术创新所带来的新需求。

  陈鲁表示，随着制程越来越先进、工艺环节持续不断的增加，行业发展对工艺控制水平提出了更高的要求，制作的完整过程中检测设备与量测设备的技术方面的要求及需求量持续提升。

  “现在我们的波长覆盖到深紫外、近紫外、可见光、近红外，仍是一个非常窄的范围。而从客户的创新要求来看，需要覆盖到更短波长的真空紫外区，更长波长的中红外甚至远红外区，才能轻松的获得更好的分辨率以及穿透性，从而适应从二维到三维的发展的新趋势。”陈鲁举例说明行业发展对量检测设备提出的新要求给国产设备公司能够带来的新机会。

  陈鲁表示，中科飞测从始至终坚持创新及差异化发展的策略，在检测和量测设备的研发中，该公司攻克了多项设备关键模块自主化开发难题，技术创造新兴事物的能力得到非常明显提升；在智能软件产品研发中，该公司将AI和大数据技术应用到半导体质量控制数据上，形成了一系列提升高端半导体制造良率的软件产品。

  目前，中科飞测已形成深紫外成像扫描技术、高精度多模式干涉量测技术、基于参考区域对比的缺陷识别算法技术等多项核心技术。

  同时，陈鲁强调了产业链协同的重要性。他认为，任何一个半导体设备的升级换代，不断向高端方向前进，都是设备企业和设备上游的所有零部件企业一同努力的结果。

  “检测设备所需要的零部件跟制程设备不太一样，国内在这方面比较薄弱，我们很早就开始做这方面的工作了，也会自研零部件。”陈鲁如是表示。

  “我们不仅需要及时吻合零部件与机台的推出时间，还需要供应商跟我们去完成下一代产品中零部件的研发。”据陈鲁介绍，零部件研发的过程是比较艰苦的，要求也很高。

  “希望每一个进入到集成电路行业、装备行业的零部件厂商都有心理上的准备，要跟我们一块去努力、吃苦，跟我们大家一起去啃这些硬骨头。”陈鲁表示。

  随着国内市场对半导体产业的政策支持力度持续加大，设备在本土半导体产业链中的核心地位日益凸显，不论是产业升级，还是自主可控，工艺设备突破的重要性和紧迫性都显著提升。

  “半导体产业链的国产化趋势将极大提升国内产业链的整体实力，对原本薄弱环节的提升更是能看到大的飞跃。”陈鲁认为，检测和量测设备领域一直是核心设备中比较薄弱的环节，国产化率不到10%，未来还有很大市场提升空间。

  陈鲁表示，中科飞测将充分把握机会，在核心技术上持续研发突破，在产品迭代升级上快速推进，在客户服务上全方面覆盖，在品牌口碑上快速提升，全面紧跟国内客户的工艺发展需求。

  “未来在国际市场中，国产设备将能够与国际有突出贡献的公司全面竞争，随着海外市场的开拓，国产设备的能力和口碑将有更大的提升。”陈鲁指出。

  谈及未来的发展规划，陈鲁表示，未来的3-5年，要尽力提升市占率。从长期战略来看，陈鲁总结为“3+1”。

  “3”代表三个维度，其一是设备的种类，其二是设备一直在升级迭代后所形成的工艺节点不断的提高，其三是海外开拓的方向。

  “+1”是指中科飞测推出了三个系列的软件，软件产品能够把客户现场在线的多种不同的检测、量测设备的数据串起来的一个中枢神经，将这一些数据串起来之后就能提供给客户良率的进一步分析，以及工艺上逐步优化的可能。

  陈鲁介绍，中科飞测将进一步巩固和提升核心技术实力，继续发挥公司在销售和客户服务的竞争优势，为客户提供全方位的产品组合和服务，同时紧跟客户的关键工艺技术创新所带来的检测和量测需求，进一步提升产品的先进性，加深与客户合作的紧密度和深度。

  “半导体设备的研发充满机遇和挑战，尤其是高端半导体设备领域的国产化，需要产业、企业、政府等多方合力突破。”陈鲁总结。（央广资本眼）

  “在核心技术上持续研发突破，在产品迭代升级上快速推进，在客户服务上全方面覆盖，在品牌口碑上快速提升，全面紧跟国内客户的工艺发展需求。”面对产业机会，陈鲁表示中科飞测将全面把握，努力实现赶超。